pulvérisation ionique à haute fréquence
- pulvérisation ionique à haute fréquence
- aukštadažnis joninis dulkinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. radio-frequency ion sputtering
vok. HF-Sputtern, n; Hochfrequenzsputtern, n
rus. высокочастотное ионное распыление, n
pranc. pulvérisation ionique à haute fréquence, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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radio-frequency ion sputtering — aukštadažnis joninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radio frequency ion sputtering vok. HF Sputtern, n; Hochfrequenzsputtern, n rus. высокочастотное ионное распыление, n pranc. pulvérisation ionique à haute… … Radioelektronikos terminų žodynas
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